HITACHI SU8010场发射扫描电镜比传统扫描电镜具有更高的分辨率，广泛应用于纳米材料，半导体器件，高分子材料，生物医学以及新能源等领域。其具有以下技术特点：

1.优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm

2.日立的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品

3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

4.可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

5.标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能