ICP-MS是一种灵敏度非常高的元素分析仪器，可以测量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素，广泛应用于半导体、地质、环境以及生物制药等行业中。相对于AAS和ICP-AES等分析方法，ICP-MS的主要优越性体现在：分析元素种类广泛；检出限低；分析速度快，多种元素可同时分析；动态范围宽，线性范围大于8个数量级；可迅速获取同位素信息；对其它方法难测定的元素如稀土元素,贵金属,铀等尤其适合；可半定量分析，能与色谱分析联用进行元素形态研究。